Абляция (абеляция) (англ. Ablation) – процесс удаления поверхностного слоя материала путем его срезания, шлифовки или испарения. Применяется для получения требуемых размеров микроэлементов или требуемой толщины слоев (тонкая подгонка размеров). Используется также для обработки поверхности подложки перед формированием на ней верхнего рабочего слоя материала в целях повышения адгезии последнего. Различают плазменную, термическую, механическую, газовую, лазерную абеляцию.
Литература по теме:
Parker, John and C. Michael Hogan, "Techniques for Wind Tunnel assessment of Ablative Materials," NASA Ames Research Center, Technical Publication, August, 1965.
Chelur; Chalfie. "Targeted cell killing by reconstituted caspases". Proceedings of the National Academy of Sciences 104: 2283.
Мальцев П. П., и др. «Нанотехнологии. Наноматериалы. Наносистемная техника», Москва, изд. Техносфера, 2008 г., 430 с.
Установка лазерной абляции VARICOAT-430